장비 > RF Sputtering System

 

장비 게시판글 내용보기
RF Sputtering System
작성자 관리자 등록일 21-03-25 16:42 조회 474
제작사 Aja International 모델명 ATC 1300 도입연도 2006-08-07
용도 RF Plasma 를 사용하여 Oxide 및 금속을 증착하는 장비

? Source : RF 0.6kW (3 set)
? Main pressure : 7 ×10-7 torr
? Process pressure : 3×10-3 torr
? Target size : 3"
? Deposition temperature : 400 ℃ max.
? Chamber : Main & Loadlock
? Control type : Auto/PC Programmable
? Substrate : Max. 3" (from piece)
첨부파일 Image7.jpg
검색 목록보기