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DC Sputtering System
작성자 관리자 등록일 21-03-25 16:41 조회 584
제작사 알파플러스 모델명 ALPS CS series 도입연도 2006-05-01
용도 Magnetron Sputtering system(DC)를 사용하여 금속을 증착하는 장비

1. Process
? Thin film co-sputtering deposition
? Deposition metal : Metal, Al, W, Pt, Etc
? Substrate Size : 4 inch single wafer

2.Depostion method
? Magnetron sputtering deposition : 3 inch target
? Dc power : 0 ~ 1,000 W
? Source gas : Ar

3.Performance
? Base pressure : 8 x 10E-7 torr
? Throughput : 1 sheet/ batch
? Thickness uniformity : ≤± 3%
? Manual operation by PLC
첨부파일 Image8.jpg
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