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장비 > Laser Microscope
Laser Microscope | |||||
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작성자 | 관리자 | 등록일 | 23-02-15 11:17 | 조회 | 433 |
제작사 | Keyence | 모델명 | VK-X3000 | 도입연도 | 2022-12 |
용도 | 재료 및 소재, 반도체 표면 구조 측정, 소자 단차 측정, 소자 불량 관찰 등 다양한 파라미터 계측을 통한 소자의 성능을 정밀분석 | ||||
규격 (1) Laser Microscope - 측정 원리 : 레이저 공초점, 백색간섭 - 종합 배율 : 28,000배 이상 - 광학 해상도 : 0.02um 이상 - 최대 촬영 해상도 : 2480×1536 이상 - 스캔 정밀도 : 높이 0.020um 이하 (2) 스테이지 구성 - Wafer size : 300 mm - XY 수동 가동 범위 : 70×70mm 이상 - XY 자동 가동 범위 : 100×100mm 이상 Tilting stage : ±5° |
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첨부파일 |
KakaoTalk_20230215_092206760_06.jpg |