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장비 > Spin Coater
Spin Coater | |||||
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작성자 | 관리자 | 등록일 | 21-03-25 16:39 | 조회 | 497 |
제작사 | 마이다스시스템 | 모델명 | spin-1200D | 도입연도 | 2016-02-04 |
용도 | PR 코팅 및 기다 용액 코팅 | ||||
? Substrate Size : Piece∼4" wafer ? Chuck rotation speed : 100∼8000rpm ? DC Servo Motor Spin state : 50Step, 20Recipe(Digital Program Type ? Time : 1∼999sec ? Variable Bowl size : 8inch, Al, SUS, Teflon, PP, etc ? Vacuum chuck : anodized Al, Acetal, Teflon, etc ? Electrical Power : 220V, 5A ? Dimension(mm) : 230×340×160 ? Oilless Vac & pressure : -650mmHg |
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첨부파일 |
Image7.jpg |