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Mask Aligner
작성자 jnsinc 등록일 21-01-20 15:44 조회 869
제작사 Suss Microtec 모델명 MA6 도입연도 2004-05
용도 포토리소그래피 공정에 사용되는 장비로 반도체 소자 혹은 집적회로의 형상의 마스크 패턴을 웨이퍼 표면의 포토레지스트(PR)에 전사하는 장치

? Alignment Mode : Manual
? Alignment Accuracy : top-side?1um, bottom-side?2um
? Print mode : Proximity & Contact, soft contact, hard contact, low vacuum & vacuum contact
? Wavelength : 365 nm
? Microscope Magnification : 5x
? Resolution : 1 um
? Possible Mask : 4-6 inch mask
첨부파일 Mask Aligner.jpg
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