장비 > RTA

 

장비 게시판글 내용보기
RTA
작성자 관리자 등록일 21-03-25 16:10 조회 559
제작사 AP시스템 모델명 RTP 600 도입연도 2005-03-01
용도 단시간내 고온 열처리 공정

? wafer size : Pieces ~ 6 inch
? Heating 텅스텐-할로겐 램프 사용
? 온도 측정 : T/C & pyrometer.
? SiC Suscepter 사용
? 온도 대역 : 200 ~ 1000 °C (T/C)
첨부파일 RTA.jpg
검색 목록보기