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장비 > Spin Dryer
Spin Dryer | |||||
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작성자 | jnsinc | 등록일 | 21-01-20 15:44 | 조회 | 475 |
제작사 | Verteq | 모델명 | Spin Rince Dryer | 도입연도 | 2005-12 |
용도 | 웨이퍼 Dry 처리 | ||||
? Wafer size : 2, 4, 5, 6 inch ? RPM Range : 0 ~ 3500 (공정별 Step 제어) ? Exhaust : PVC 40A ? Drain : PVC PIPE 32A ? N2 Supply : 3/8“ SUS316L tube ? DI Supply : 1 ~ 7 LPM ? System specifications - Capacity : 1 Wafer carrier up to 6“ - Outer Dimensions (Rinse/Dryer) : 18.87“ Wide * 26.25” deep * 20.50“ high - Bowl Dimension : 11.25“ ID by 9.31” Deep - DI nozzels : 6 - Drain : 1.5“ NPT - Rinse Cycle : 0 to 3200 RPM - Dry Cycle : 0 to 3200 RPM - Rinse Timer : 0 to 9999 Seconds - Rinse Timer : 0 to 9999 Seconds ? DI Water : 1.75 gpm 25psi (3/8“) ? DI Return : 5 psi (3/8“) ? System N2 : 3.0 ~ 4.0 cfm ? Electrical : 15AMP 120VAC 50/60Hz |
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첨부파일 |
20160901110100_20071012000000009060 NFEC-2007-10-008057.jpg |