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Elipsometer
작성자 jnsinc 등록일 21-01-20 15:44 조회 512
제작사 나노뷰 모델명 SE MG-1000 도입연도 2005-12
용도 투명박막 두께 및 굴절률 측정

? Wavelength : 350 ~ 840 nm or 1.5 ~ 3.5 eV (UV option : 250 ~ 840 nm or 1.5 ~ 5.0 eV)
? Measurement : items Film thickness, n, k
? Accuracy : 1048.85 Å ±0.29 Å for 1049 Å SiO2 on c-Si
? Thickness range “: 1Å ~ 3um (depends on sample)
? Throughput : 5 ~ 10 sec per point (depends on sample)
? Angle of Incidence : 45 ~ 90 with 5 step ( manually variable of incidence)
? Sample size : 5mm x 5mm ~ 200 mm x 200 mm
? Foot print : 400 mm (W) x 300 mm (D) x 300 mm (H)
첨부파일 Ellipsometer.jpg
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