장비 > PR Asher (Low Pressure Plasm System)

 

장비 게시판글 내용보기
PR Asher (Low Pressure Plasm System)
작성자 jnsinc 등록일 21-01-20 15:44 조회 409
제작사 Plasma Finish 모델명 LPPS 도입연도 2005-02
용도 변형되거나 잔여 PR 제거

? Plasma excitation frequency: Microwave (2.45 GHz)
? Plasma power: 50-300 W
? Gas inlets with mass-flow-controller: 1 channel
? Power supply: 230 V, 50/60 Hz
? Power input (without vacuum pump): 0.5 kVA
? Vacuum gauge: Pirani
? Weight: 100 k
첨부파일 PR remove.jpg
목록보기