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장비 > RF Sputtering System
RF Sputtering System | |||||
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작성자 | 관리자 | 등록일 | 21-03-25 16:42 | 조회 | 475 |
제작사 | Aja International | 모델명 | ATC 1300 | 도입연도 | 2006-08-07 |
용도 | RF Plasma 를 사용하여 Oxide 및 금속을 증착하는 장비 | ||||
? Source : RF 0.6kW (3 set) ? Main pressure : 7 ×10-7 torr ? Process pressure : 3×10-3 torr ? Target size : 3" ? Deposition temperature : 400 ℃ max. ? Chamber : Main & Loadlock ? Control type : Auto/PC Programmable ? Substrate : Max. 3" (from piece) |
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첨부파일 |
Image7.jpg |