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장비 > DC Sputtering System
DC Sputtering System | |||||
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작성자 | 관리자 | 등록일 | 21-03-25 16:41 | 조회 | 583 |
제작사 | 알파플러스 | 모델명 | ALPS CS series | 도입연도 | 2006-05-01 |
용도 | Magnetron Sputtering system(DC)를 사용하여 금속을 증착하는 장비 | ||||
1. Process ? Thin film co-sputtering deposition ? Deposition metal : Metal, Al, W, Pt, Etc ? Substrate Size : 4 inch single wafer 2.Depostion method ? Magnetron sputtering deposition : 3 inch target ? Dc power : 0 ~ 1,000 W ? Source gas : Ar 3.Performance ? Base pressure : 8 x 10E-7 torr ? Throughput : 1 sheet/ batch ? Thickness uniformity : ≤± 3% ? Manual operation by PLC |
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첨부파일 |
Image8.jpg |