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Spin Coater
작성자 관리자 등록일 21-03-25 16:39 조회 498
제작사 마이다스시스템 모델명 spin-1200D 도입연도 2016-02-04
용도 PR 코팅 및 기다 용액 코팅

? Substrate Size : Piece∼4" wafer
? Chuck rotation speed : 100∼8000rpm
? DC Servo Motor Spin state : 50Step, 20Recipe(Digital Program Type
? Time : 1∼999sec
? Variable Bowl size : 8inch, Al, SUS, Teflon, PP, etc
? Vacuum chuck : anodized Al, Acetal, Teflon, etc
? Electrical Power : 220V, 5A
? Dimension(mm) : 230×340×160
? Oilless Vac & pressure : -650mmHg
첨부파일 Image7.jpg
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