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Lapping/Polishing
작성자 관리자 등록일 21-03-25 16:55 조회 376
제작사 아론 모델명 AR04 LP-300 도입연도 2007-02-14
용도 기판 연마

Lapping/Polishing
-공작물의 표면과 랩 과의 사이에 랩재나 공작액을 가하여 공작물 표면의 조도를 일정하게 하여 거울과 같은 면을 얻는 장치
-2~4단의 속도가변 영역을 설정하여 단일회전속도 설정에서 해낼 수 없었던 표면조도 형성
-Wafer size ; 2” ~ 8”
첨부파일 Image19.jpg
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