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Laser Microscope
작성자 관리자 등록일 23-02-15 11:17 조회 434
제작사 Keyence 모델명 VK-X3000 도입연도 2022-12
용도 재료 및 소재, 반도체 표면 구조 측정, 소자 단차 측정, 소자 불량 관찰 등 다양한 파라미터 계측을 통한 소자의 성능을 정밀분석

규격
(1) Laser Microscope
- 측정 원리 : 레이저 공초점, 백색간섭
- 종합 배율 : 28,000배 이상
 - 광학 해상도 : 0.02um 이상
- 최대 촬영 해상도 : 2480×1536 이상
- 스캔 정밀도 : 높이 0.020um 이하

(2) 스테이지 구성
 - Wafer size : 300 mm
 - XY 수동 가동 범위 : 70×70mm 이상
 - XY 자동 가동 범위 : 100×100mm 이상
 Tilting stage : ±5°
첨부파일 KakaoTalk_20230215_092206760_06.jpg
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