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장비 > E-beam Evaporator
| E-beam Evaporator | |||||
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| 작성자 | 관리자 | 등록일 | 23-02-15 11:05 | 조회 | 423 |
| 제작사 | Temescal | 모델명 | 도입연도 | 2020 | |
| 용도 | 전자빔을 이용한 금속박막 증착 | ||||
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- 고출력 전자빔을 이용하여 Metal Source 를 증발시켜 Wafer(기판)표면에 증착시키는 장치 |
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| 첨부파일 |
KakaoTalk_20230215_094733148.jpg |
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