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전체게시물 총 7건 검색 제목 내용 제목+내용 작성자 전체CleaningDiffusionEpitaxyEtchingLithographyMeasurement & AnalysisThin film후공정기타 장비 장비이름 [Thin film]E-beam Evaporator ? Process Chamber : Stainless steel ? Sample Size : 4inch ~ ? Vacuum Gauge Controller : ATM ~ 1.0E-10Torr ? Power Supply Unit : 6kW, 8kW, 10kW ? Crucible Size : 4cc, 7cc, 15cc, 25cc ? Pocket Number : Single, 4, 6 ? Film Thickness Uniformity : < ±5% ? Ultimate Pressure : < 5.0E-7Torr ? Metals : Ti, Pt, Ni, Cr, Au, Ag, Zn 등 제작사 Korea Vacuum Tech 모델명 KVE-E2000 도입연도 2005-02 용도 Cryo pump와 Rotary를 사용하여 2x10-7Torr 이하의 Base Pressure에서 Evaporator process를 하는 장비 12