장비 > Electrochemical CV Profiler

 

장비 게시판글 내용보기
Electrochemical CV Profiler
작성자 jnsinc 등록일 21-01-20 15:44 조회 313
제작사 Accent Optical Technologies 모델명 PN4300 도입연도 2004-12
용도 반도체 기판을 식각하면서 반도체 표면으로부터 깊이에 따른 도핑농도를 분석

? Carrier Concentration : 10E13 ~ 10E-3cm-3
? Type : n- and p- type
? Material : GaN, GaAs, InP, Si
? Sealing ring size
- the large ring : 3.5mm diameter (normally 0.1cm2)
- the small ring : 1mm diameter (normally 0.01cm2)
? Desiding on ring size
- the large ring : At higher carrier concentration (above 5E18cm-3)
- the small ring : carrier concentration (1E13 to 1E20cm-3)
첨부파일 20160901110105_20071012000000013389 NFEC-2007-10-018193.jpg
목록보기