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Ion sputter (SEM)
작성자 jnsinc 등록일 21-01-20 15:44 조회 384
제작사 Hitachi 모델명 E1010/E1020 도입연도 2005-11
용도 SEM 측정 시 측정 물질의 특성 때문에 측정이 되지 않는 것을 대비하여 측정물질을 볼 수 있게 도와주기 위해 특정 물질을 증착

? Discharge Mode : Diode discharge
- Discharge Electrode : ring (63mm diameter)
- Discharge Voltage :DC 2.5kV 0.5kV
- Discharge Current : DC 0 to 30mA
? Standard target : Pt
? Coating rate (Maximum)
- Pt : 6nm/min
? Specimen
- Max dia : 50mm
- Max height : 15mm
첨부파일 Pt sputter.jpg
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