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E-beam Evaporator
작성자 jnsinc 등록일 21-01-20 15:44 조회 492
제작사 Korea Vacuum Tech 모델명 KVE-E2000 도입연도 2005-02
용도 Cryo pump와 Rotary를 사용하여 2x10-7Torr 이하의 Base Pressure에서 Evaporator process를 하는 장비

? Process Chamber : Stainless steel
? Sample Size : 4inch ~
? Vacuum Gauge Controller : ATM ~ 1.0E-10Torr
? Power Supply Unit : 6kW, 8kW, 10kW
? Crucible Size : 4cc, 7cc, 15cc, 25cc
? Pocket Number : Single, 4, 6
? Film Thickness Uniformity : < ±5%
? Ultimate Pressure : < 5.0E-7Torr
? Metals : Ti, Pt, Ni, Cr, Au, Ag, Zn 등
첨부파일 E-beam.jpg
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