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전체게시물 총 28건 검색 제목 내용 제목+내용 작성자 전체CleaningDiffusionEpitaxyEtchingLithographyMeasurement & AnalysisThin film후공정기타 장비 장비이름 [Measurement & Analysis]Cryostat Cryostat(반도체특성저온측정시스템) 제작사 Lake Shore Cryotronics 모델명 TTPX 도입연도 2022-10 용도 극저온 및 고저온 상태에서 반도체 신뢰성 검사 장비이름 [Measurement & Analysis]FIB FIB(고성능집속이온빔시스템) 제작사 Thermo Fisher Scientific 모델명 Helios 5 CX 도입연도 2022-09 용도 시료 표면 및 단면 가공 & 선택적 증착 및 식각 장비이름 [Measurement & Analysis]FE-SEM FE-SEM(전자주사현미경) 제작사 Thermo Fisher Scientific 모델명 Apreo 2 도입연도 2021-01 용도 반도체 시편 측정 장비이름 [Measurement & Analysis]AFM AFM(원자힘현미경) 제작사 HITACHI 모델명 AFM5000Ⅱ 도입연도 2022-12 용도 반도체 시편 측정용 장비이름 [Measurement & Analysis]Laser Microscope 규격 (1) Laser Microscope - 측정 원리 : 레이저 공초점, 백색간섭 - 종합 배율 : 28,000배 이상 - 광학 해상도 : 0.02um 이상 - 최대 촬영 해상도 : 2480×1536 이상 - 스캔 정밀도 : 높이 0.020um 이하 (2) 스테이지 구성 - Wafer size : 300 mm - XY 수동 가동 범위 : 70×70mm 이상 - XY 자동 가동 범위 : 100×100mm 이상 Tilting stage : ±5° 제작사 Keyence 모델명 VK-X3000 도입연도 2022-12 용도 재료 및 소재, 반도체 표면 구조 측정, 소자 단차 측정, 소자 불량 관찰 등 다양한 파라미터 계측을 통한 소자의 성능을 정밀분석 장비이름 [Measurement & Analysis]RLC Tester 1) Precision LCR Meter : 1 ea 2) Signal Generator with built-in step attenuator : 2 ea Specifications (규격사항) 1) Precision LCR Meter -Test frequency : 1 MHz to 3 GHz or more -Frequency resolution : 100 kHz or less -List-sweep : 32 points per sweep x 8 traces -Impedance parameters : |Z| θz (rad) θz (deg) |Y| θy (rad) θy (deg) X G B Ls Lp Cs Cp Rs Rp Q D or more -Display resolutions 5 digits or more -Test signal level . V (open condition): 4.47 mVrms ~ 502 mVrms or more . I (short condition): 0.0894 mArms ~ 10 mArms or more -Basic accuracy : less than ± 1.0% -Measurement range : 200 mohm to 3 kohm or more -Measurement time : 9 msec per point or less -Measurement terminal : 3.5 mm (female) -Calibration and compensation : open/short/load/low-loss capacitor calibration fixture electrical length compensation open/short compensation -Rdc measurement function : on/off selectable -Data storage devices : 18 GB internal hard disk and 1.44 Mbyte floppy disk -Interface : GPIB LAN (10base-T/100base-TX 제작사 Agilent Technologies 모델명 4287A 도입연도 2007 용도 소자의 C-V 측정 12345